Couches Minces

Croissance et caractérisation des films nanométriques

Les films d’épaisseurs inférieures à 100 nanomètres ont des applications importantes dans les domaines de l’optique et de la mécanique. Ils sont également un champ de recherche en constant développement pour les revêtements high-tech révélant des propriétés optiques, électroniques ou mécaniques spécifiques.

En pratique, a performance de tels films est déterminée par les paramètres de dépôt et par la préparation du substrat. Pendant la phase de démarrage des procédés de dépôt il est intéressant de déterminer la morphologie des films fabriqués dans des conditions de process, de présence de défauts, d’uniformité de film ou encore de rugosité de surface variables. En outre, il est essentiel de s’assurer de l’adhérence film-substrat et des propriétés mécaniques telles que des mesures d’élasticité, de rayure et résistance à l'usure ou bien encore de dureté.


Des instruments de haute précision sont donc requis pendant la phase de croissance mais aussi lors de la caractérisation du film.

 



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